▶ 반도체 장비 유지 보수 기능사 교육과정

- 자격 종목 : 반도체 장비 유지 보수 기능사
- 직무 내용 : 반도체 장비의 유지 보수에 관한 지식을 바탕으로 반도체 장비를 운용 · 점검하고, 작동이상 부분을 정비하여 최적의 상태로 장비를 유지 보수하는 직무이다.
- 수행 준거

1. 반도체 장비에 대한 기계도면을 보고 기계요소 등을 이해하여 분해, 조립할 수 있다.
2. 반도체 장비에 대한 공/유압 회로도를 이해하고 구성하여 동작할 수 있다.
3. 반도체 장비에 대한 배관도를 이해하고 구성하여 시운전을 할 수 있다.
4. 반도체 장비에 대한 전기결선도를 이해하고 결선하여 특성에 맞는 프로그래밍을 통해 시운전을 할 수있다.

교육 목표		반도체 원리와 구성에 대해 이해할 수 있다. 반도체와 반도체 조조 공정에 대해 이해할 수 있다. 반도체 장비의 주요 구성요소를 알고 실습할 수 있다.
교육 대상		자동화 & 메카트로닉스 관련 업무 종사자 / 반도체 관련 업무 종사자
교육 내용	기본	반도체 전처리 및 후처리 공정의 흐름 가스 챔버, 플라즈마 시스템, 로봇 시스템, 칠러 시스템을 각각 개별 및 연계 실습 배관, 요소 분해/조립, 요소 스케치 등 기계 요소에 대한 기술 습득 전장 배선, PLC 프로그래밍 등 제어 요소에 대한 기술 습득
	응용	터치패널 운영, 가스 압력 조절, 가스 유량 조절, 칠러 순환 등 종합적 기술 습득 VR을 이용한 장비 유지보수에 필요한 분해 및 조립 기술 습득 SCADA를 이용한 반도체 장비 데이터 수집 및 저장과 활용 기술 습득
교육 장비		반도체 유지 보수 시스템

▶ 반도체 장비 유지 보수 기능사 교육 방안

    1. 반도체 제조 장비 모니터링 _ 반도체 장비 동작 상태 모니터링

     ▷ 모니터링 기능

1. 가동 / 비가동
2. 생산량 / 불량율
3. 알람 / 그래프

     ▷ PLC 제어

1. PLC 실시간 연동
2. PLC 데이터 활용
3. 스마트폰 연동

    2. 전기시퀀스 / 전기공압 시뮬레이터 _ 반도체 장비 유지 보수

     ▷ 반도체 장비 유지 보수

1. PLC 연동 가상제어
2. 전기시퀀스 시뮬레이션 가능
3. 공압 시뮬레이션 가능

    3. 반도체 유지 보수 장비 _ 반도체 장비 유지 보수

     ▷ 플라즈마 공정

1. 진공의 발생과 활용
2. 가스공급 시스템의 구성
3. RF 발진의 이해

     ▷ 웨이퍼 이송 / 반송 공정

1. 액추에이터의 구성
2. 배선 및 프로그래밍 실습
3. 터치패널의 활용

     ▷ 제어시스템 공정

1. 전장제어 시스템 구성
2. PLC 프로그래밍
3. 배선 및 시운전

     ▷ 칠러제어 공정

1. 히터 제어 실습
2. 압축기 / 냉각팬 제어 실습

▶ 반도체 장비 세부 설명

 

▷ 장비 특징 

 

1. 반도체 유지 보수 기능사 실기에 활용할 수 있다.
2. 자유로운 부품 배치가 가능하며, Y 터미널을 통해 배선 실습이 가능하다.
3. 각각의 시스템은 개별적, 통합적인 시스템으로 운용이 가능하다.
4. 가스챔버, 플라즈마, 로봇 시스템 등은 각ㄱ각의 차단기를 통해 안전한 회로로 구성이 되어있다.
   
5. HMI를 통해 각각의 파트를 수동 조작 및 공정 테스트를 할 수 있다.
6. 서보모터 1축 위치 제어 실습을 할 수 있다.
7. 가스 챔버를 통해 플라즈마 현상을 눈으로 확인할 수 있다.

 ▷ 반도체 장비 세부 설명

  

     플라즈마 모듈

1. Chamber
2. 가스 차단 밸브
3. 온도조절기
4. 진공게이지
5. 슬레노이드 밸브
6. RF 제너레이터
7. 에어서비스 유닛

 

     웨이퍼 로봇 및 웨이퍼 저장 카세트

1. 박형 실린더
2. 회전 실린더
3. 로드리스 실린더
4. 진공 발생기
5. AC SERVO MOTOR
6. SERVO DVIVE
7. 광화이버센서

 

     칠러 모듈

1. HEATING BLOCK
2. 드라이어 필터
3. 저압게이지
4. 고압게이지
5. 압력리밋 스위치
6. 고압리밋 스위치
7. 순환 펌프
8. 수조

 

     터치 패널

1. 10.2" TFT Color
2. DC24V
3. 메모리 128MB
4. 인터페이스 Serial COM1, Serial COM2, ETHERNET, USB

 

     보조 전장 모듈

1. PLC
2. CP 2극
3. 노이즈필터
4. SMPS DC 24V
5. 인터패이스 단자대
6. PUSH BUTTON S/W
7. SELECT S/W
8. NFB

 

     메인 전장 모듈

1. 서보모터 드라이브
2. SMPS DC24V
3. PLC
4. 전자개패기
5. 열동형계전기
6. NFB
7. NOISE FILTER

 

     펌프

1. Pumping Speed : 100ℓ/min 
2. Gas Ballast Open : 5X10 -3 Torr (6.7 Pa)
3. Gas Ballast Closed : ≤1X10 -3 Torr (1.3X10 -1 Pa)

 

     MFC 컨트롤러

1. 13.56 MHz
2. 80W

 

     RF 제너레이터

1. FullScale Range : 5 SCCM ~ 50 SLM
2. Maximun Inlet Pressure : 150 psig
3. Control Range : 2% to 100% of F.S
4. Accuracy : ±1.0% of F.S
5. Warm-up Time :＜2 min
6. Tenperature Range : 0℃ to 50℃

▶ 시뮬레이션 소프트웨어 

 

     전기시퀀스 세뮬레이션 소프트웨어

1. 전기시퀀스 회로 작성 및 시뮬레이션
2. 전기 시퀀스 회로에서 파트 리스트 제공 (리포트 형태)
3. 전기 시퀀스 배선 감각을 학습 가능하도록 실배선 회로 작성 및 시뮬레이션
4. 과전류, 과전압, 합선 등을 확인할 수 있는 진보된 형태의 전기 시퀀스 시뮬레이션
5. 파트리스트를 이용한 배선회로 부품 자동 배열
6. FLASH 동영상을 이요한 전기 시뭔스 부품 동작 상태 학습
7. 전기 시퀀스 회로를 AUTO CAD 파일로 변환
8. 전기 기기 / 공사 기능사 (산업기사) 자격증 예제 수록

 

     공/유압 세뮬레이션 소프트웨어

1. PHLego를 뛰어넘는 신개념 유공압 시뮬레이터
2. 유공압 및 전기 제어 기호 (심볼) 회로 구성 및 시뮬레잇연
3. 유공압 및 전기 제어 실사 요소 회로 구성 및 시뮬레이션 (150개 이상 실사요소 제공)
4. 실사 회로도를 이용한 시뮬레이션 방법 (특허 제0528832호 등록 기술 사용)
5. KS/IEC의 두가지 전기 제어 기호 (심볼) 제공으로 전기 제어 가능
6. 프로젝트 개념의 도입으로 2장 이상의 도면을 연동해서 시뮬레이션
7. GMWIN에서 작성한 프로그램을 별도의 작업 없이 유공압 회로와 연결하여 바로 가상 실습
8. 유공압 요소에 대한 요소 설명 및 동작 애니메이션 제공
9. 풍부한 유공압 예제 및 제어 이론에 대한 전자교과서 제공
10. 간결하고 편리한 인터페이스 구성으로 비전문가도 쉽게 사용 가능